2015年5月7日下午,我室学术沙龙第十二讲《微纳器件制造工艺、封装技术及应用研究》在知达楼二楼研讨室顺利举行。报告会由实验室副主任张勤芳教授主持,实验室副主任侯贵华教授、相关学院老师及众多研究生参加了交流会。
交流会上,关荣锋教授首先介绍了微纳器件的研究历史、发展动态、几种典型的工艺技术及相关工艺设备。接着重点介绍了光发射器件设计与工艺技术,光开关设计与封装制造技术,硅微加速度传感器设计及应用,耐高温压力传感器设计制造及应用,汽车用MEMS压力传感器设计及产业化研究等内容。参加此次活动的师生针对报告内容进行了热烈的讨论,并就后续研究工作进行了探讨,交流活动获得圆满的成功。
关荣锋教授,主持和参与完成国家“863”计划项目7项,国家自然基金2项,省部级科研项目5项,发表研究论文70多篇,其中SCI和EI收录32篇,申请和获国家发明专利10项目。目前主持国家自然基金项目1项,主持国家“863”项目子课题1项,参与省部级以上项目3项。
