脉冲激光沉积装置可实现功能氧化物薄膜材料制备，高功率激光器及高真空沉积室，保证高熔点氧化物薄膜材料制备，配备反射式高能电子衍射（RHEED），能够从原子层面检测薄膜材料生长。主要用于制备氧化物异质结功能材料，如铁磁材料、铁电材料、记忆存储材料、相变材料等。