功能氧化物薄膜制备平台
作者:clsys  文章来源:江苏省新型环保重点实验室  点击数:  发布时间:2018-06-25 16:06:11
 

功能氧化物薄膜制备平台

作者:clsys 文章来源:江苏省新型环保重点实验室 点击数:68 发布时间:2018-6-25 16:06:11

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脉冲激光沉积装置可实现功能氧化物薄膜材料制备,高功率激光器及高真空沉积室,保证高熔点氧化物薄膜材料制备,配备反射式高能电子衍射(RHEED),能够从原子层面检测薄膜材料生长。主要用于制备氧化物异质结功能材料,如铁磁材料、铁电材料、记忆存储材料、相变材料等。

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